近日，中國計量測試學會收到中國科協的感謝信，信中對學會在2020年重大科學技術問題和工程技術難題遴選推薦工作中，積極有效組織計量測試相關專家撰寫重大問題的政策建議表示衷心感謝！
2020年8月15日，中國科協在第二十二屆中國科協年會上，對外發布了20項2020年前沿重大科學問題和工程技術難題，其中，中國計量測試學會推薦的“如何解決集成電路制造工藝中缺陷在線檢測難題”位列其中。
作為中國科協所屬學會，今后，中國計量測試學會將一如既往與中國科協一道，深入貫徹習近平總書記關于科技創新的系列指示精神，發揮學會的資源優勢、平臺優勢和技術優勢，提升學術引領能力，為推動社會可持續發展、建設世界科技強國做出積極的貢獻。
“如何解決集成電路制造工藝中缺陷在線檢測難題”介紹
在上一代國家集成電路制造02專項中，缺陷在線檢測設備的研發投入相對較少，我國在該領域存在明顯短板，設備水平遠落后于發達國家，因此，缺陷檢測設備是我國半導體產業鏈中最薄弱的環節之一，研發集成電路高靈敏度缺陷在線檢測技術與裝備迫在眉睫。
集成電路領域目前是國際科技競爭的主戰場和大國博弈焦點。對于集成電路缺陷檢測技術及設備，一方面現有最先進技術設備被少數幾個發達國家壟斷，對我國技術封鎖；另一方面，世界范圍內7納米及以下節點的缺陷在線檢測技術仍未成熟，設備缺口仍然巨大，誰率先掌握了相應關鍵技術，誰就掌握了未來主導權，這對我國來說既是機遇又是挑戰。因此，突破下一代節點集成電路制造缺陷在線檢測技術，不但可以打破以美國為首的技術封鎖，解決“卡脖子”問題，還將提升我國制造業整體水平，為交叉領域科技發展產生重大影響力和引領推動作用，同時帶來巨大經濟效應和國際影響力，占領國際競爭至高點。
